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第181章安装设备(上)</p>
“吊车已经在路上了,过几分钟就能到。”</p>
众人站在无尘车间外等了几分钟,两辆20吨级吊车就赶到了瑞达电子厂,而后以吊装的方式,将集装箱货车上的光刻机和刻蚀机,分别送入四个无尘车间。接下来就是漫长的设备安装和调试,光刻机和刻蚀机,是这个世界上最精密的设备之二,可以在晶圆上完成纳米级别的精加工,如此高端的设备,对安装环境的要求也是非常的苛刻,平整度、温度、安装精度缺一不可。瑞达电子厂斥巨资打造这四个电子级无尘车间,主要就是为了这两种设备服务。</p>
王成业院士捧着一本足有砖头厚的英文原版安装说明书,一边翻看,一边感叹道:“啧啧啧,不愧是当前世界最先进的DUV光刻机,只是安装说明书,就有上千页,看着就让人头大。”</p>
林梦松也跟着附和道:“谁说不是呢,越高端的设备越是娇贵,就拿这台光刻机来说,安装的环境温度高了不行,湿度大了不行,灰尘多了也不行,噪音稍稍大一些,成品率都会受到影响。”</p>
“要说还是咱们乔同学神通广大,最阿斯麦先进的DUV光刻机都能搞的来,有了它,冲击28nm制程一点难度都没有。”周万达看着面前这几台设备,口水都要流下来了。要是他所在的北大集成电路实验室有两台如此先进的光刻机,怕是28nm制程早就攻克了。</p>
林梦松抚摸着一台光刻机的外壳,说道:“小了,你的野心也太小了,28nm算什么,有了这些最先进的DUV光刻机和刻蚀机,通过套刻,多次曝光等工艺,实现7nm芯片的制造都是可能的,只是成品率可能没那么高。”</p>
“我去,真的假的,如果真的实现了7nm工艺,那岂不是领先主流芯片加工技术三个节点,林博士,你不会是在吹牛吧?”</p>
“我也觉得不可能,如果这套设备真的能实现7nm工艺制程,那摩尔定律岂不是要失效了。”</p>
“我看那些期刊上说,要在芯片加工领域实现7nm工艺制程,必须使用光波更短的EUV(极紫外)光刻机,这个DUV光刻机做不到这么小的加工精度吧,能实现14nm工艺就已经很了不起了。”</p>
众人对林梦松的观点,纷纷提出了质疑,只有重生一世的乔瑞达知道,使用DUV光刻机是真的可以实现7nm的芯片加工工艺。不过实现这个工艺的难度非常非常的大,以至于全世界只有两个团队做到了,一个是台积电的工程师团队,另一个就是林梦松带领的中芯国际团队。当然那是未来若干年之后,才会发生的事情,而且随着乔瑞达插手,林梦松的命运轨迹已经改变,就算他再次带领团队实现了这一壮举,也会打上瑞达科技的烙印,而不是中芯国际。</p>
接下来的大半天时间,乔瑞达陪着安装工程师、王院士、林博士等人,在无尘车间内,按照说明书,小心的完成了一台光刻机的安装工作。其实按照惯例,采购这种高端设备,一般需要生产厂家派出专家或工程师,辅助客户安装到位,这也是售后服务的一部分。但是乔瑞达弄来的这些设备,来路不正当,自然不可能邀请阿斯麦的工程师来辅助指导安装。好在乔瑞达在复制设备的同时,一并复制几套这些设备的详细安装使用说明书,大家按图索骥、集思广益,也能把这些光刻机刻蚀机安装到位,但是这个安装过程,消耗的时间,就要长很多了。</p>
众人从下午一直干到半夜12点,也只是将一台DUV光刻机安装到位。眼看着时间太晚了,乔瑞达只好宣布,“今天就到这里吧,其它设备的安装和调试工作,到明。”</p>
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