第226章 纵论EUV（上）

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“你小子，跟老师说话还这么不着调，小心我期末挂你的科。”周万达是一个好奇心很重的人，现在他询问的问题，没有得到答案，让他百爪挠心一般的难受，忍不住出言威胁了一句。周万达本就是北大集成电路专业的教授，这一学期负责教授乔瑞达他们班的一门专业课。乔瑞达又经常旷课，点名经常不在，如果专业老师以此为理由，让他挂科，谁也挑不出毛病。

听到来自周万达的威胁，乔瑞达立马服软，“别呀，周老师，周教授，你如此宽洪大量的人，怎么能跟我一般见识，让我挂科呢。周老师，你不就是想知道后面那辆车上拉的是什么吗，我这就告诉你，那辆车上拉的是一台EUV光刻机。由于设备太过精密，震动，或者温湿度剧烈变化，都有可能影响它的加工精度，这才在车辆上加装了防震措施，又在集装箱上装了空调，以保障内部环境恒温恒湿度。”

“什么，我没听错吧，你竟然搞来了一台EUV光刻机！这怎么可能呢，连国际光刻机巨头阿斯麦都只有测试样机，没有量产上市的东西，你小子又是怎么搞来的？”乔瑞达说出来的信息太过于震撼，引的坐在后座的周万达惊呼不已，当教授，做科研培养出来的沉稳气质，荡然无存。

“嘿嘿嘿，对不住了周老师，这个EUV光刻机的来源就真的不能对外说，否则将供货渠道暴露出来，下次就再也拿不到货了。你也是搞芯片的，应该清楚，这些高端光刻机，对咱们华夏大陆都是禁运的。”其实这台EUV光刻机是乔瑞达通过金手指复制出来的，来源本就见不得光，这会儿被周万达问起来，只能编出一个神秘的供货商来，应付一二了。

“原来是这样，要说你小子也真是厉害，还在测试阶段的新设备，都能搞出来。渠道的事儿，我就不问了，你看能不能通过你的关系，给北大芯片实验室也搞一台EUV光刻机，要多少钱你随便开。”周万达搓搓手，一脸期待的看向正在开车的乔瑞达。

作为一名芯片制程工艺研究员，周万达太清楚EUV光刻机的威力了。当前市面上主流的浸润式DUV光刻机，常规加工精度是28nm。即使使用套刻、多次曝光等工艺，DUV光刻机的加工精度最多提升到7nm，而且会存在步骤繁琐、加工难度大、良品率低等诸多的缺点。如果有了EUV光刻机，那就完全不同了，EUV由于采用了极紫外光对硅晶圆进行加工，可以把加工精度做到很小，起步就是7nm，具有加工速度快、良品率高、等优点，生产出来的芯片，性能强大，发热低。后续采用一些其他工艺，还能加工出5nm、3nm，甚至2nm的芯片，绝对是未来芯片加工的发展方向。

“咦，周老师，你又没见到EUV光刻机的实物，也没进行过任何测试，为何会如此看好这台光刻机，不惜重金也要买一台？”这个型号的EUV光刻机的性能，乔瑞达在次元空间内做过测试，这才知道它的厉害。周万达又没做过测试，甚至连这台EUV光刻机的样子都没见过，就如此果断的要花钱求购，当真奇怪。

周万达嘿嘿一笑，说出了一些乔瑞达不知道的内幕消息，“嘿嘿，这不是见猎心喜吗，EUV光刻机，多么高大上的设备，全世界，只有阿斯麦公司能生产，而且只有几台样机，尚未量产交付。如果咱们北大的芯片实验室能够搞到一台，即使不能用于芯片的量产，只用来搞一下尖端芯片的流片测试，和7nm以下芯片加工工艺的摸索，也是赚大了。

咱们北大芯片实验室内，那套芯片生产线你也见过，都是五年前的老家伙了，即使我们做了不少的改造升级，生产40nm芯片，已经是它的极限了，在也没有什么潜力可挖。而且存在着生产成本过高，合格率低下等诸多缺陷。早在去年的时候，我和老师，参加了你们瑞达电子厂芯片生产线的安装和调试工作，当时看到你们那套浸润式DUV光刻机、和配套生产线，我们就羡慕的不行。回到学校之后，我老师就打报告上去，申请经费，对芯片实验室的生产线，进行更新换代。

奈何此次设备升级，需要的费用太大，一些核心的设备还不太好买，那份申请报告在上级机构那里卡了一年，最近才批复下来。本来这次跟你一起来德诚市，就想着拜托你帮忙采购几台DUV光刻机和刻蚀设备，没成想更先进的EUV光刻机你小子都搞得来。有EUV在，谁还要落后的DUV呀，你说是不是。”

“原来如此，帮你搞一台EUV光刻机也不是不行，不过这东西的价格可不便宜，你要做好准备，我也不知道你们实验室有没有这么多钱。”乔瑞达沉吟一番，最终还是给出了一个肯定的答复。国内做芯片设计的公司和科研院所很少，搞先进芯片制程工艺研发的单位就更少了。随着瑞芯晶圆厂的建立，对芯片合格率的提升，和对先进制程工艺的追逐，就不会停止。到时候和北大芯片实验室的合作会很多，同时北大也能为瑞芯晶圆厂提供大量芯片领域的高端人才。现在冒着金手指曝光的危险，卖给他们一台EUV光刻机，也算是提前投资，支持母校了。

“国际上最先进的DUV光刻机售价就要五六个亿，难道EUV光刻机的售价更贵？”说到价格，周万达的心里就真的没底了，毕竟上面批下来的资金有限，他也不知能能不能买的起EUV光刻机。

“你这话说的，多新鲜呐，生产28nm芯片的DUV光刻机的售价都要6万左右。可以生产7nm芯片的EUV光刻机，卖的比DUV光刻机价格更贵一些，不是很正常吗。我也不瞒你，后面货车上这台EUV光刻机，是我花费10亿买回来的，这还没算上渠道费用和运费。”