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为了降低生产难度,乔瑞达拿出了一款比较简单的7nm工艺三代内存芯片掩膜版,装进EUV光刻机,进行生产测试。这种内存芯片,加工过程即不需要套刻,也不需要二次暴光,结构也非常的简单,算是最好的测试样品了。第一批100片12寸硅晶圆放上传送带,清洗、干燥、气相沉积底膜、旋涂光刻胶、对准与曝光、烘焙、显影……一个步骤又一个步骤的走下来,时间不知不觉间过去。</p>

第一天投料,第二天中午的时候,加工完的晶圆才走下生产线。然后乔瑞达等人,亲自动手,将这100片带着美丽彩色花纹的晶圆,装进专用密封盒子,然后带去隔壁的芯片测试车间,进行全面的检测。</p>

又是半个小时后,乔瑞达一脸关切的向测试人员询问道:“怎么样,芯片合格率高吗?”</p>

这位刚刚从大学毕业的芯片检测员小姑娘,被几十位穿着白大褂的公司高层围着,还颇有几分手足无措。好在芯片的检测过程是全自动的,需要她参与的步骤并不多。小姑娘查看了一下电脑屏幕上的统计数据,向乔瑞达汇报道:“到目前为止,一共检测了32片晶圆,6400枚芯片,全部不合格。”</p>

听到这个检测结果,众人纷纷摇头叹息,包括乔瑞达、王院士、周万达等人也不例外。从安装设备,调试设备,到现在的试生产,众人在这条芯片生产线上,已经忙碌了半个多月,那么多的金钱,那么多的精力投入下去,最终换来一个全军覆没的结果,着实让人难以接受。</p>

“不是吧,这么先进的设备,只是用来生产最简单的内存芯片,怎么会失败呢,会不会掩膜版本身就存在缺陷?”</p>

“谁说内存芯片就简单了,我看过乔总提供的图纸,现在测试生产的这枚内存芯片,是拥有自主知识产权的三代DDR内存,这在国内,尚属首创。”</p>

“这枚内存芯片,技术很先进,我承认,但是它的结构确实非常的简单,比那些手机SOC,电脑CPU,GPU什么的,简单了不要太多。咱们得生产线也设置的很合理,原材料和生产流程上也没有问题,没道理生产测试下来,一枚合格芯片都没有呀!”</p>

“或许是工人对新的生产线不熟悉,操作过程中有失误吧。毕竟他们以前操作的都是使用DUV光刻机的28nm生产线,和这条使用EUV光刻机的7nm芯片生产线,差距还是有些大的。”</p>

“说的有道理,操作不当确实有可能影响最终的芯片良品率。整个芯片生产流程有着几百个步骤,任何一个节点上出了问题,都会影响最后的良品率。”</p>

“在我看来,芯片合格率为零也没什么奇怪的,这毕竟是一条全新的芯片生产线,新设备,新工艺,再加上一帮刚刚完成培训的操作工人,这么多不利因素叠加在一起,生产出来的芯片全军覆没,不是很正常吗。”</p>

“说的也是,这次生产测试失败了也没什么,只要咱们能找出问题出现在哪里,然后在后续的测试中更正它就好。”</p>

就在众人议论纷纷的时候,芯片测试员小姑娘,发出了一声惊呼,吸引了所有人的注意,“呀,终于检测到了一枚合格的芯片!”</p>

“真的吗,快让我看看,第47号晶圆,编号145芯片,检测合格!这真是太好了,终于有一枚合格的芯片了。”</p>

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