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“确实有一件大事儿。”安城说道:“我们收到了一份特殊的邀请函,确切的说,是邀请你的。”</p>
“谁啊?”郭一好奇的问道,能让安城觉得是大事儿的,对方来头一定不小。</p>
“魔都微电子、科学院魔都光学精密机械研究所联合邀请,态度非常诚恳,据估计,跟光刻机的研究有关。”</p>
安城说道,他知道郭一肯定会对光刻机的研究有兴趣,那天他自己都说了。</p>
“说什么时候了没?”郭一问道。</p>
“没有,时间地点你定。”安城笑道:“只是说要隐秘一些就好。”</p>
郭一想了想,隐秘个锤子啊,不就是EUV光刻机吗,不过他还是说道:“好,如果可以,就明天下午吧。</p>
地方再隐秘都不好使,倒不如大大方方的约到拜仁A1工厂,让他们以考察的名义。魔都微电子自己的光刻机生产出了7nm芯片,这理由合情合理。”</p>
“好。”</p>
……</p>
魔都微电子、华东光学精密机械研究所,兴师动众的找到郭一,目的当然不简单,更不用说来的还都是重量级人物,魔都微电子的董事长都来了。</p>
一行人参观考察拜仁A1工厂,央媒、地方媒体、传统媒体、新媒体,光是媒体就邀请了上百家,可谓是兴师动众。</p>
目的也很简单,掩人耳目,兴师动众之后就是私下的商谈。</p>
拜仁A1厂早已收拾过的会客厅。</p>
郭一也是笑着说道:“大隐隐于世,现在媒体散了,这儿就是最隐秘的地方。就是有点儿小,还请多担待啊。”</p>
“哪里哪里,这正合我们的意思。”魔都微电子董事长何明说道:“冒昧打扰,还请不要见怪啊。”</p>
“何董一心打造中国芯,承担无数人心中的科技梦想,任何时候都是不打扰的。”</p>
郭一说的是真心话,魔都微电子虽然这么长时间造不出28nm的光刻机,但这不是他自己的问题,是整个产业链的问题。魔都微电子本身已经做得非常好了。</p>
“哪里,现在给了无数人科技梦想的正是郭先生啊。”何明也是无限感慨:“真是英雄少年。”</p>
听着何明的这番话,郭一也是笑了,他还是第一次跟人这么客套,实在是不符合他的性格,他也是直接了当的说道:</p>
“何董,听说你们早就开始进行了EUV光刻机的研究,现在进展怎么样?”</p>
“难啊!”何明一听这话就明白了,郭一不是一个喜欢客套的人,他也是直入正题:“别说EUV了,就算是DUV28nm,14nm我们现在也都还无能为力,这也是我们此行的目的。”</p>
“深紫外光源DUV光刻机我们就不谈了,”郭一直接说道:“现在研制极紫外光源EUV光刻机,你们都有哪些困难?”</p>
何明有些懵,郭一问这个啥意思?不过,他还是说道:“极紫外光刻涉及到的东西太多太多,最重要的当然还是三大件,光源系统、光学透镜和反射镜以及控制系统。</p>
华东所已经能够制造出稳定的用于光刻的13.5nm极紫外光了,但整个光源系统不是那么简单能搞定的。</p>
光源系统、光学透镜和反射镜国内没有能够达到相应精度的供应商,而我们对控制系统的开发也还远远的不够,阿斯麦的光刻机控制系统也是某国在做的。”</p>
“如果这三大系统问题我都能够解决,你们能够在一年内搞定EUV光刻机的设计制造吗?”郭一问道。</p>
何明来的时候做好了一切准备,但他实在没想到郭一会这么问。</p>
三大核心系统他都能解决?这……</p>
能不能在一年之内搞定EUV?</p>
这个他还真的不知道,三大系统确实是核心,但是光刻机的其他部件都简单了吗?</p>
阿斯麦的EUV光刻机,每台有超过10 万个零件,加上3 千条电线、4 万个螺栓及2 公里长的软管等零组件,最大重量达180 吨,每次运输必要动用40 个货柜、20 辆卡车,并3 架次货机才能运完。</p>
这样的一个庞大到无法想象的系统能简单的了吗?</p>
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