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28纳米光刻机。

28纳米已经是目前炎国国内光刻机的顶尖水平。

在目前全球光刻机市场中,ASML、佳能以及尼康是最大的三家供应商,他们占据了全球99%的市场份额。

佳能和尼康主要生产22纳米的低端DUV光刻机,而ASML大部分产品都是更高端的EUV光刻机。

DUV和EUV实际

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