第277章 历史性时刻

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这种新型光刻胶从研发出来并没有经过实际的高端芯片测试，且目前生产出来的存量也有限，很多地方确实需要看最终结果。

比如对于晶圆厂来说最重要的成品率。

如果使用这种光刻胶光刻的芯片残次率较大，那就算光刻胶成本很低，也绝对不会继续使用。

这也是新型光刻胶很难在国际上有市场的原因。

基本晶圆厂绝对不会冒险。

否则所造成的损失将直接影响到利润。

侯盛昌这会显然已经对徐昀无比信任，闻言伸手拍了拍徐昀的肩膀宽慰道：“没有你就没有国产极紫外光刻机的今天，要多给自己点自信才行。”似乎丝毫不觉得今天测试会有问题。

随即光刻机将极紫外光通过镜片，照在前面准备好的集成电路掩膜版上。

将设计师绘制好的电路图曝光在晶圆上。

后面则需要溶解光刻胶。

使光刻过程中曝光在紫外线下的光刻胶被溶解掉。

清除后留下的图案和掩模上的一致，再进行蚀刻。

尽管到这一步已经非常繁琐，可后续还需经过离子注入电镀抛光覆盖层数，直至制造出布满芯片的晶圆。

虽然这个等待的过程比较枯燥，徐昀侯盛昌等人却没有丝毫的不耐烦。

在晶圆参考电路图案和每一块芯片进行对比测试后便开始切片。

并丢弃瑕疵芯片。

余下芯片经过封装再次测试后，便能包装发货。

把整个流程全部跟下来，可以确定光刻机的各项功能和运行都没有问题，在设计时的理想参数范围内。

虽不知道长期运行后会有什么变化，起码现在通过了测验。

接下来则只需要确定芯片的瑕疵率，以及生产出的芯片最终性能。

如果都没有问题的话，便能够正式对外界宣布首台国产极紫外光刻机交付。

相信解释肯定会引起全球的轰动。

“拿到最终芯片测试数据还要等些时间，院长还是先去休息室吧。”

徐昀稍微松了口气，特意对身旁的侯盛昌说。

眼下该看的东西都已经看完，接下来光刻机也会自行运转工作，倒没必要继续留在原地等待。

“放心吧院长，肯定不会有问题的。”闻言旁边的罗长辉也接过话茬附和道。

侯盛昌年纪虽然在这放着，可面对让人魂不守舍的极紫外光刻机，他宁愿多驻足会欣赏这个大家伙。

可想到结果出来还要些时间，而他刚好有其他事情告诉项目组，便不再迟疑当即点头答应下来。

“那好吧。”

随着侯盛昌松口，在徐昀的带领下便一起前往不远处的休息室。

由于其他人还要盯着主控系统记录数据，此刻休息室内除了徐昀和侯盛昌外，只有罗长辉院士和杨靖研究员两个人。

国产极紫外光刻机进展迅速，眼看就能正式交付使用制造芯片。

这使得大家的心情都很不错，连带休息室的氛围都轻松了不少。

“这次可要好好看看海外那些家伙的脸，无论如何他们也不会想到我们的进度会这么快。”

“等我们宣布这个消息，相信全球都会动容的。”杨靖这时接过罗长辉的话微笑着补充了句。

身边侯盛昌也是满脸笑容：“这一天的到来确实很值得期待。”

“已经不远了。”

心情从来没有像今天这么高兴。

听着众人的谈话，徐昀要说不高兴那绝对是假的。

不过说实话他的心思却不在这上面。

国产极紫外光刻机的研发成功已经是板上钉钉，基本不会出现什么状况。

可以说他是否继续留在锦城都已经无所谓了。

按照他的计划，是等光刻机测试结束后，便立刻返回京州市。

这几个月时间内他虽说经常回京州陪陈诗禾，但总共时间并不算多。

而陈诗禾的预产期是在八月份，剩下的时间里他自然想一直待在陈诗禾身边。

他知道陈诗禾身边有她父母和母亲在，并不会有什么事情，并且陈诗禾也多次让他以项目为主，不过他很清楚陈诗禾内心肯定是希望他在身边的。

就在他思索着这些时，只听坐在中间沙发上的侯盛昌突然又开口提起一件事。

“对了，还有件事要告诉你们。”

此话一出包括徐昀在内罗长辉杨靖都同时抬起视线向侯盛昌看去。

想知道侯盛昌口中的事情是什么。

对此侯盛昌倒也没有卖关子，当即便沉声讲起来。

“阿斯麦公司的首席技术执行官托尼诺教授，要来我们科学院交流光刻机研发技术，这件事院里已经同意并把交流地点订在你们所。”

“阿斯麦的首席技术执行官？”

“要和我们交流学习？”

几乎是侯盛昌的话音刚落，旁边的杨靖便有些控制不住情绪下意识喊了两句。

脑海中更是浮现出大量问号。

主要以往阿斯麦作为全球最顶尖光刻机公司，就算想购买他们高端光刻机都不可能，更不要说什么交流学习研发技术了。

对此感到诧异也实属正常。

罗长辉听到这个消息尽管表情有些动容，但很快便恢复正常。

随即讲出自己的判断。

“阿斯麦此举恐怕是令有意图吧，我可不相信他会和我们分享光刻机研发技术。”

“你们猜的不错。”侯盛昌对两人点点头表示认可，然后又把目光放到徐昀身上问：“我看你似乎并不意外，有什么想法说说看。”

侯盛昌说的确实没错。

徐昀对于这个消息并没有表现出什么意外之色。

甚至这完全在预料之内。

毕竟他的存在在科学界是非常特殊的，短短几年时间便给很多领域带来了改变，先前更是公开表示要在今年交付首台极紫外光刻机，这种做法肯定会引起阿斯麦公司的担忧。

哪怕他们不相信这件事能够成功，心里多少会有些忧虑。

这种情况下主动派人过来接触也正常。

可惜只能说对方打错了主意，眼下国产极紫外光刻机已经研发成功，倒也不怕让对方知道。

念头停留在这里，徐昀当即微笑着说：“对方这时候突然派人来交流学习，无非是想确认我们有没有成功研发出极紫外光刻机。”

“既然他们那么想知道，那就干脆满足这个愿望。”

“说的不错，院里也正是这个想法。”侯盛昌对徐昀的分析非常满意，脸上堆出的笑容越发灿烂。

接下来徐昀和罗长辉又向侯盛昌多了解了些关于这位首席技术执行官的资料。

得知对方过两天就会到达帝都，然后来到锦城。

面对这种情况，徐昀肯定要等接待完这位技术执行官后再返回京州市。

反正光刻机的测试是个长时间的活，接下来都会处在运行状态制造灵思智能汽车芯片，如此徐昀反倒越发期待这位技术执行官的到来，不知道对方在看到这台能够制造7纳米芯片的极紫外光刻机后，会是一种怎么样的特殊心情。

刚好能够借助阿斯麦这家巨头公司，彻底打开国内半导体领域在全球的地位。

随后不知道过去多久，突然传来的敲门声使得几人精神猛地一震。

几乎没有任何迟疑，立刻便喊道：“进来。”

作为研究员助理的博士后刘星推门进来，手中拿着份没有装订的文件，还算俊朗的脸庞上此刻洋溢着兴奋激动的喜悦。

看到这里没等刘星汇报情况，已经从沙发上站起身的侯盛昌便追问道：“是不是芯片测试有结果了？”

“是的院长。”

“根据测试数据，这批晶圆出现的芯片瑕疵率在正常范围内。”

“并且芯片性能没有任何问题。”

刘星快速讲完这些重要信息，能看到侯盛昌罗长辉杨靖几人总算松了口气……

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本章完